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トリス(ジメチルアミノ)シラン

packaged for use in deposition systems

• 別名: トリス(ジメチルアミノ)シラン, (Me₂N)₃SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, トリス(ジメチルアミド)シラン, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, TDMAS
• 化学式: ((CH₃)₂N)₃SiH
• CAS Number: 15112-89-7
• 分子量: 161.32
• EC Number: 239-165-0
• MDL番号: MFCD00048006
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 329766793
• NACRES: NA.23

特性

• 品質水準: 100
• アッセイ: ≥99.9% (GC)
• フォーム: liquid
• bp: 142 °C (lit.)
• mp: −90 °C (lit.)
• 密度: 0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
• InChI: 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
• InChI Key: TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

トリス（ジメチルアミノ）シランは、揮発性が高く熱安定性に優れた有機シリコン化合物で、太陽電池、燃料電池触媒、半導体など、さまざまな用途のシリコン含有薄膜を製造するための蒸着前駆物質として広く使用されています。蒸着は、低い基板温度（<150）で行うことができます。TDMAS の融点と蒸気圧は適切な動作範囲内にあるため、非常に優れた蒸着前駆物質となっています。

アプリケーション

トリス（ジメチルアミノ）シランは次の用途に使用できます。

• 原子層堆積法による色素増感太陽電池の TiO₂ アノードへのアルミニウムケイ酸塩を堆積するためのシリコン源。
• Li イオン電池用の機能化された Si 強化セパレーターを製造するための前駆体。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS02,GHS06,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H225,H261,H302,H311 + H331,H314
• 注意書き: P210 - P231 + P232 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react 2
• 補足的ハザード: EUH029
• 保管分類コード: 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): 16.0 - 32.0 °F - closed cup
• 引火点(℃): -8.89 - 0.00 °C - closed cup