688509

四塩化ケイ素

packaged for use in deposition systems

• 別名: STC, テトラクロロシラン
• 化学式: SiCl₄
• CAS Number: 10026-04-7
• 分子量: 169.90
• MDL番号: MFCD00011229
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 329761169
• NACRES: NA.23

特性

• 蒸気密度: 5.86 (vs air)
• 品質水準: 100
• 蒸気圧: 420 mmHg ( 37.7 °C)
• アッセイ: 99.998% trace metals basis
• フォーム: liquid
• 反応適合性: core: silicon
• bp: 57.6 °C (lit.)
• mp: −70 °C (lit.)
• 密度: 1.483 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: Cl[Si](Cl)(Cl)Cl
• InChI: 1S/Cl4Si/c1-5(2,3)4
• InChI Key: FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

Atomic number of base material: 14 Silicon

アプリケーション

Precursors Packaged for Depositions Systems

安全性情報

• ピクトグラム: GHS06,GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H301 + H331,H314,H335
• 注意書き: P261 - P271 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
• 危険有害性の分類: Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 3 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A - STOT SE 3
• ターゲットの組織: Respiratory system
• 補足的ハザード: EUH014,EUH071
• 保管分類コード: 6.1C - Combustible acute toxic Cat.3 / toxic compounds or compounds which causing chronic effects
• WGK: WGK 1
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable
• 個人用保護具 (PPE): Faceshields, Gloves, Goggles