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ヘキサクロロジシラン

96%

• 別名: 1,1,1,2,2,2-ヘキサクロロジシラン, HCDS, 六塩化二ケイ素
• 化学式: (SiCl₃)₂
• CAS Number: 13465-77-5
• 分子量: 268.89
• EC Number: 236-704-1
• MDL番号: MFCD00011599
• UNSPSCコード: 12352103
• PubChem Substance ID: 24852311
• NACRES: NA.23

特性

• アッセイ: 96%
• フォーム: liquid
• 屈折率: n20/D 1.475 (lit.)
• bp: 144-145.5 °C (lit.)
• 密度: 1.562 g/mL at 25 °C (lit.)
• SMILES記法: Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl
• InChI: 1S/Cl6Si2/c1-7(2,3)8(4,5)6
• InChI Key: LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N

詳細

詳細

ヘキサクロロジシラン（HCDS）は、ジシランを製造するための前駆体として使用されるクロロシランです。HCDSは、シリコン膜および窒化ケイ素に基づく膜の製造に使用される脱酸剤です。

アプリケーション

HCDSは、化学気相成長（CVD）により、カプセル化剤や断熱材として使用可能なシリカエアロゲルの製造に使用できます。また、CVDを用いて1,1,1,2,2,2-ヘキサアミノジシランを合成するためにも使用できます。これは、マイクロエレクトロニクスに基づくアプリケーション用のシリコン系膜を生成します。

還元剤として使用される場合があります。化学気相成長（CVD）法により、アンモニアと組み合わせて窒化ケイ素を生成できます。

安全性情報

• ピクトグラム: GHS05
• シグナルワード: Danger
• 危険有害性情報: H314
• 注意書き: P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338 - P363 - P405
• 危険有害性の分類: Skin Corr. 1B
• 補足的ハザード: EUH014
• 保管分類コード: 8A - Combustible corrosive hazardous materials
• WGK: WGK 3
• 引火点(°F): Not applicable
• 引火点(℃): Not applicable
• 個人用保護具 (PPE): Faceshields, Gloves, Goggles, type ABEK (EN14387) respirator filter